安捷倫科技公司日前宣布發(fā)布最新版本的器件建模軟件平臺――集成電路表征和分析程序。IC-CAP 2011.04 將 IC-CAP Wafer Professional 自動測量解決方案與 IC-CAP CMOS 模型提取套件相結合，能夠顯著改善半導體器件的建模流程。

先進的 CMOS 器件建模需要執(zhí)行大量測量，以分析制程趨勢，確定提取典型和邊際器件模型所需的數(shù)據(jù)。管理和分析數(shù)據(jù)，以確保為復雜的模塊提取和驗證做出正確的選擇，是一項很大的挑戰(zhàn)。這通常需要建模團隊使用多種軟件工具來轉(zhuǎn)換將數(shù)據(jù)格式，但這樣既不精確又缺乏效率。IC-CAP WaferPro 幫助用戶以最有效的方式收集和管理大量數(shù)據(jù)�，F(xiàn)在，IC-CAP CMOS 建模套件首次能夠與 WaferPro 完美結合。

通過 IC-CAP 2011.04，用戶能夠在 Agilent CMOS 套件環(huán)境中定義器件和測量測試，自動生成可在各種測試設備上執(zhí)行的 WaferPro 測試方案。通過 WaferPro 表征各種幾何形狀的器件后，CMOS 提取模塊將自動讀取測量數(shù)據(jù)用于模型提取。由于不需要在測量和建模應用之間進行數(shù)據(jù)傳輸或格式轉(zhuǎn)化，這極大地提高了流程效率。

Agilent EEsof EDA 事業(yè)部產(chǎn)品經(jīng)理 Roberto Tinti 表示：“從 2010 版本開始，IC-CAP WaferPro 憑借其性能、靈敏度、對測試儀器和系統(tǒng)的廣泛支持，以及最大程度地幫助使用實驗室設備等優(yōu)勢，已經(jīng)日益成為客戶的理想選擇。我們非常高興地將 WaferPro 的強大功能提供給所有 Agilent CMOS 提取套件用戶。這樣，我們可以幫助他們更有效地安排從測量到提取從整個流程。”

除了 WaferPro 和 CMOS 套件組合，IC-CAP 2011.04 還增加了對 Windows 7 的支持，并且改進了仿真、測量和編程環(huán)境中的幾個平臺。增強功能包括使用 Verilog-A 和 Agilent ADS 仿真器（在IC-CAP 分析模塊中免費使用，無需額外的許可證）進行仿真，并支持 spice 網(wǎng)表中的 PARAM語法格式。此外，WaferPro 現(xiàn)在支持 Tokyo Electron P8/P12 全自動探針臺，同時 Agilent B1505A 直流功率分析儀驅(qū)動程序支持在多個偏置單元上進行脈沖偏置。

關于 IC-CAP WaferPro 和 CMOS 建模套件

Agilent W8510 IC-CAP WaferPro 通過控制半自動和全自動探針臺和先進儀器（例如 Agilent 4080 參數(shù)測試儀），支持用戶以不同的溫度執(zhí)行自動晶圓上測量。它是進行 DC-CV 和射頻器件建模測量的最強大的測量套件。IC-CAP CMOS 測量和提取套件提供專用的軟件環(huán)境，以提取先進 CMOS 器件的典型和邊際模型。它完全支持用于 CMOS 業(yè)界標準模塊（例如 BSIM3、BSIM4、PSP 和 HiSIM）的有效的參數(shù)提取程序。該套件能夠在提取當前 CMOS 器件的復雜多樣的模型過程中，適當?shù)仄胶庖绘I式解決方案的效率及自定義參數(shù)提取的需要。

關于 IC-CAP 軟件

Agilent IC-CAP 軟件是一個器件建模程序，擁有強大的表征和分析功能，可用于當今的半導體建模工藝。IC-CAP 可以高效、準確地提取有源器件參數(shù)和電路模型參數(shù)，執(zhí)行多項建模任務，包括儀器控制、數(shù)據(jù)采集、圖形分析、仿真和優(yōu)化等。半導體代工廠和設計公司利用它來表征晶圓工藝。